Кварц часть 5

Другие достоинства кварцевых резонаторов – практическое отсутствие гистерезиса при механических, температурных и электрических воздействиях. Особое внимание на СКТБ ЭлПА уделяется разработке миниатюрных камертонных кварцевых резонаторов РК206 на частоты от 32 до 320 кГц в корпусах размером Ж1,5х5 и Ж2х6 мм и полосковым резонаторам РК308 на частоты от 3,5 до 12 МГц в корпусе размером Ж3х10, по своим характеристикам не уступающим зарубежным аналогам (рис.1). Миниатюрные кварцевые резонаторы изготавливаются не только с помощью механической обработки, но и по групповой технологии методом фотолитографии, позволяющим формировать кварцевые детали сложной формы, в том числе и мезаструктуры с воспроизводимостью размеров до 1 мкм. СКТБ разработаны и изготовлены опытные образцы микроминиатюрного опорного резонатора для поверхностного монтажа на частоту 256 кГц в кварцевом корпусе размером 3,3х1,7х0,65 и 4,3х1,7х0,4 мм. Возможно изготовление таких резонаторов и на диапазон частот от 32 до 256 кГц. Успехи современной цифровой электроники создали основу для применения датчиков с частотным или кодовым выходом в измерительных системах управления технологическими процессами, контроля параметров окружающей среды, в образцовых средствах измерений. На базе кварцевых резонаторов различных срезов выпускаются прецизионные датчики температуры, давления, усилия, влажности, ускорения. Так, чувствительный пьезоэлемент термочувствительного среза, смонтированный в корпус размером Ж2х6 мм, образует камертонный малогабаритный термочувствительный кварцевый резонатор (табл.1) с малой постоянной времени тепловой инерции (до 5 с). Возможны варианты датчиков температуры в том же корпусе с меньшей постоянной времени, что достигается путем заполнения инертными газами пространства внутри корпуса. Градуировочная характеристика резонаторов этого типа описывается полиномом второй или третьей степени (погрешность аппроксимации в среднем – сотые доли градуса): ... где fT – частота термочувствительного резонатора; f0 – опорная частота; A1, A2 – коэффициенты полинома; T0 – температура, соответствующая опорной частоте f0