разное часть 57

Эти остаточные напряжения изменяются во времени и могут вызвать микротрещины. Во время вакуумной металлизации возможна диффузия молекул газа в поврежденный поверхностный слой, что также вызывает изменение частоты, т. е. старение. На тонких пьезоэлементах поверхностное напряжение больше, чем на толстых. Существенное значение для снятия поверхностного напряжения имеет обработка поверхности пьезоэлементов после распиловки. Последовательная шлифовка все более тонким зерном абразивов и, наконец, полировка в значительной степени снимают поверхностное напряжение пьезоэлементов. Для удаления отколовшихся частиц, образовавшихся от различных механических повреждений поверхности кристалла кварца, непрочно сцепленных с поверхностью пьезоэлементов, и зерен абразива, запрессовавшихся в толщу поверхности, пьезоэлементы следует подвергать перед металлизацией отжигу при температуре --500°С и травлению. При отжиге пьезоэлементов в муфельной печи нагрев происходит медленно до -f500°C и так же медленно происходит охлаждение до комнатной температуры. Длительность цикла 10-12 ч. С течением времени меняется кристаллическая структура металлического слоя, нанесенного на поверхность пьезоэлементов, что также влияет на старение кварцевых резонаторов. Толстый металлический слой на поверхности пьезоэлементов подвержен различным изменениям, в том числе окислению. Кроме того, может оказаться нестойким само сцепление металлического электрода с поверхностью кварца несмотря на применяемые подложки из хрома. Причиной отрицательных уходов частоты является коррозия электродов, имеющая место в случае применения биметаллических электродов, - напыления в вакууме серебряной пленки, затем покрытой гальваническим способом никелем. Остаточные механические напряжения в металлических пленках электродов также вызывают уходы частоты. Очевидно, неметаллизированные поверхности кварцевых пластин с точки зрения старения более пригодны для резонаторов. Пьезоэлементы, металлизированные вакуумным способом, более стойки к процессам старения, чем пьезоэлементы с более рыхлым металлическн?л слоем, нанесенным электролитическим способом